台湾精密仪器研发成功半导体电浆制程测漏仪器免费猫

台湾精密仪器研发成功半导体电浆制程测漏仪器

日前，发展中心宣布研发成功被誉为“半导体电浆制程测漏尖兵”的“微型光谱即时侦测器”。 据介绍，科研人员经过一年两个月的研究，开发出这种轻薄短小且为独立于系统设备之外的实时侦测仪器。其工作原理系运用电浆制程中各种气体均具有不同特征光谱谱线的特性，若腔体发生漏入空气的情况，腔体内气体成分将发生改变，如此即可藉由侦测氮气或氧气的特征谱线来加以确认。一旦有设定之异常现象出现，便可由控制系统发出预防性的警示信号，对减少生产成本并对产品的合格率及品质提升大有助益。这项研发创意已于联华电子公司晶圆厂的电浆制程设备线上测试，该厂工程师认为切实可行。 微型光谱即时侦测器除应用于半导体电浆制程设备外，平面显示器等需使用电浆制程设备的高科技产业也可使用，在精密的九十纳米以下制程工艺、苛刻的腔体漏测侦测需求时将更有用武之地。此项研发成果已申请专利并将积极对外推广，估计仅岛内就有上万台的市场。

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